MPCVD设备能沉积高纯度的金刚石膜，其沉积速率也可以通过加大微波功率来提高。装置设计人员将微波频率从2.45GHz降低到915MHz。如果使用915MHz频率的微波MPCVD设备装置，就可以使微波功率提高很多，而微波功率的加大则能大幅度地提高金刚石膜的沉积速率，从而降低生产成本，提高生产效率。一般2.45GHz频率的MPCVD设备，它的微波功率一般不超过8KW，微波频率的降低就可以使驻波腔截面积加大，使得金刚石膜的沉积面积加大，而沉积金刚石膜的直径也从1.5KW微波功率的50mm金刚石膜上升到75KW微波功率的250mm金刚石膜。
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