FC-3800和FC-4400是适用于洁净室的、真空锁结构的系统,专门面向lift-off工艺的大生产应用。这些镀膜机为连续高效的运行而设计,并提供高均匀性的薄膜沉积。FC-3800的源基间距为34”(965mm),而FC-4400的源基间距为42”(1067mm)。这两款系统都可配置成独立机台或穿墙式洁净室安装,也都支持镀膜源、材料进给、加热、清洗等附件的各种组合。