Temescal的FC-2000和BJD-2000系统式通用型电子束蒸发镀膜设备，通过选用不同的附件配置，适合绝大多数沉积应用要求，除了高效运行和兼容洁净室的特点，该系统还具有极强的灵活性，以方便使用。其中FC-2000是一款具有快速工艺周期能力以及真空锁结构的系统，可以在装卸基片时让电子束蒸发源保持在高真空状态。而BJD-2000系统则没有真空锁结构。
产品性能：