高精度共晶粘片-非接触光学表面测量-xray检测-北京创世杰科技发展有限公司

Temescal的FC-2000和BJD-2000系统式通用型电子束蒸发镀膜设备，通过选用不同的附件配置，适合绝大多数沉积应用要求，除了高效运行和兼容洁净室的特点，该系统还具有极强的灵活性，以方便使用。其中FC-2000是一款具有快速工艺周期能力以及真空锁结构的系统，可以在装卸基片时让电子束蒸发源保持在高真空状态。而BJD-2000系统则没有真空锁结构。

产品性能：

• 腔室类型：Bell jar
• 低温泵型号及抽速：CT-8，4000L/s
• 典型抽真空时间：到达1E-6Torr抽气时长小于15min
• 电子束蒸发源可安装数量：4X25cc Poptop +1 fixed pocket
• 电子枪电源：6kw 或 12kw
• 离子源（选配）：MKI filament
• 晶圆装载量（lift-off)：42X2“，13X100mm
• 源基间距：19.5”（标准），27.5”（加长）
  
• 腔室观察窗：4"广角
• 均匀性修正板：1个固定式
• 可拆卸的不锈钢护甲：是
• 可升降的双向旋转的源托架：是
• 所有接触真空环境的设备表面：304不锈钢

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