T-3000-PRO
T-3002-PRO
T-3002-PRO具有高达200毫米直径的晶圆台,位于工作台下方,拥有Tresky独特的顶针台系统设计,适用于8寸及以下晶元取片。
该系列主要功能有:
- 芯片分选到华夫盒或者gel packs
- 点胶或者蘸胶贴片
- 胶厚控制
- 50Kg大压力???/span>
- 3D封装,如MEMS,MDEMS,Photoics。
- 微米级精度放置,通过分光棱镜系统对基板焊盘和芯片底部的图形,轮廓,边角等进行精细对位。
- Flip-Chip 超声键合
- Flip-Chip 点胶粘片或者异性薄膜
- 传感器微组装
- UV固化粘片
- 焊料共晶粘片,如Ausi,Copper Pillar或其他
- 在曲面上做超声键合
技术参数:
XY 工作台移动距离: 220mm x 220mm (手动)
XY 晶元台移动距离: 220mm x 220mm (手动)
Z 轴移动距离: 95mm (自动,精度 ±0.001mm)
吸头旋转: 360°
贴片压力: 20g-400g
贴片精度: ±10μm; ±1μm (配置分光棱镜系统)
设备尺寸: 900mm x 800mm x 700mm
重量: 90kg
电压: 110V / 220V